熱式質量流量計發展 ：
20世紀60年代，美國首先為宇航業所需氣體質量控制開發出熱式質量流量計正式產品，其后應用于半導體工業的制造設備上，得到很大發展，后又擴展到其他工業應用領域，近年來再工業應用上從測量氣體擴大到測量液體。
由于氣體熱式質量流量計日趨成熟且應用面不斷拓寬，國際標準化組織(1SO)已制定有關"規范、檢驗、安裝、運行和校準"氣體熱式質量流量計的國際標準IS014511：2001。
熱式質量流量計：利用流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關系來測量流量的儀表。
基本原理：利用外熱源對被測流體加熱，測量因流體流動造成的溫度場變化來反映質顯流量。
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